19 mei. 2008
1 minuut
Op de stand van de LivePIL staat de zonnecelmachine van OTB Solar centraal. De DEPx-machine vormt een schakel in het proces van zonnecelproductie, maar staat op de beurs als stand alone machine. Het is een voorbeeld van wat de Nederlandse industrie en compontentenleveranciers aan hightech kunnen neerzetten.
Op de stand van de LivePIL staat de zonnecelmachine van OTB Solar centraal. De DEPx-machine vormt een schakel in het proces van zonnecelproductie, maar staat op de beurs als stand alone machine. Het is een voorbeeld van wat de Nederlandse industrie en compontentenleveranciers aan hightech kunnen neerzetten.
“Zonnecellen worden geproduceerd in ongeveer tien processtappen”, legt Marcel Grooten van OTB uit. Dat begint met de siliciumwafers. En één van de stappen is het aanbrengen van een anti-reflexlaag. Het principe dat daarvoor wordt gebruikt, heet enhanced chemical vapor desposition source PECVD. In een vacuümkamer worden op 400 graden met een plasmabron silane en ammonia gediffusieerd en dat slaat neer tot siliciumnitride op de wafer”, vertelt hij. Het proces is goed te volgen om de stand in hal 10, daar staat een DEPx-machine doorzichtige behuizing.