Silicium MEMS-microfoon

Op de eerste beursdag van Electronica in München introduceerde Infineon een miniatuur silicium-microfoon, gebouwd in MEMS-technologie.

Op de eerste beursdag van Electronica in München introduceerde Infineon een miniatuur silicium-microfoon, gebouwd in MEMS-technologie. De akoestische en elektrische eigenschappen van de microfoon zijn vergelijkbaar met die van twee keer zo grote typen, maar hij verbruikt slecht een derde van het vermogen van zulke microfoons. Doordat hij bestand is tegen hoge temperaturen is de microfoon geschikt voor toepassing in volledig automatische productieprocessen.

De microfoon is bedoeld voor toepassingen waar nu electretmicrofoons worden gebruikt. De silicium MEMS-microfoon kan temperaturen verdragen tot 260 graden Celsius en is beter bestand tegen trillingen en schokken. Hij kan zonder problemen op een standaard printplaat worden gesoldeerd. De microfoon bestaat uit twee chips: de MEMS-chip en een ASIC, beide ondergebracht in een enkele SMT-behuizing. De MEMS-chip bestaat uit een stijve, geperforeerde elektrode en een flexibel silicium membraan. Samen vormen ze een condensator die akoestische drukgolven omzet in capaciteitsvariaties. De ASIC detecteert deze variaties, zet ze om in elektrische signalen en geeft ze door naar de gewenste verwerkingselektronica, zoals een baseband-processor of een versterker.

Silicium MEMS-microfoons kunnen worden gebruikt in mobiele telefoons en headsets, in notebook-computers, hoortoestellen en toepassingen in de auto.

“We kunnen ons zelfs voorstellen dat de microfoon wordt gebruikt in industriële toepassingen, bijvoorbeeld als akoestische sensor voor machinebewaking”, zegt Peter Schiefer, hoofd van de business unit Discrete Semiconductors van de Automotive, Industrial & Multimarket-divisie van Infineon Technologies.

Eigenschappen
De MEMS-microfoon heeft uitstekende akoestische eigenschappen, zoals een signaal/ruis-verhouding van 59 dB(A) en een gevoeligheid van 10 mV/Pa. De voedingspanning liggen tussen 1,5 en 3,3 V; het gemiddelde stroomverbruik bedraagt 70 microampère. De afmetingen bedragen 4,72 mm x 3,76 mm x 1,5 mm. Een aantal identieke microfoons kan in een array worden geconfigureerd om een richtingsgevoelige microfoon te bouwen; de spreiding in specificaties van de verschillende microfoons is gering.

www.infineon.com/microphone