14 nov. 2005
1 minuut
Busak+Shamban heeft een nieuw afdichtingsmateriaal binnen de ‘Isolast Fab Range’ ontwikkeld. Isolast J9670 is bestemd voor toepassing binnen de halfgeleiderproductie waar wafers onder hoge temperatuur worden bewerkt met behulp van plasma’s. De perfluorelastomeer (FFKM) kan worden toegepast in applicaties met continue werktemperaturen van –15 tot +315°C. Door de bestendigheid tegen agressieve plasma-erosie bij hoge temperaturen is er een minimale afbraak van het materiaal en een extreem lage uitgassing. Het materiaal is ook bestand tegen de agressieve, droge productiegassen die bij de tijdens halfgeleiderproductie worden gebruikt. Isolast J9670 wordt niet alleen als O-ring uitgevoerd, maar kan ook worden verwerkt tot klantspecifieke ontwerpen. De afdichtingen worden geproduceerd en verpakt onder cleanroom-condities (class 100). De oppervlaktes van de beige gekleurde afdichtingen zijn vrij van contaminaties. J9670 heeft een hardheid van 75 ongeveer 5 Shore A en een soortelijke massa van 2,17 g/cm3.