ASM-topman over de geschiedenis van EUV

ASML heeft de Semi Americas Award gekregen voor de inspanningen van het bedrijf op het gebied van EUV-lithografie. ASML-CTO Martin van den Brink nam de prijs in ontvangst via een opgenomen bericht tijdens de virtuele Semicon West-conferentie op 20 juli. Het leuke is dat hij terug kijkt op enkele van de belangrijkste momenten in de geschiedenis van EUV: