16 okt. 2006
2 minuten
Op het EUV 2006 symposium waren de innovatieve resultaten te zien van het Europese project More Moore.
Op het EUV 2006 symposium, dat gisteren inBarcelona van start ging (16 t/m 18 oktober), zijn de innovatieve resultaten te zien van het Europese project More Moore. Dit project wordt gefinancierd door de Europese Commissie en is bedoeld om de ontwikkeling te stimuleren van EUVL (Extreme Ulta Violet Lithography) in Europe. Praktisch doel is dat rond 2010 de massaproductie van halfgeleiders met deze technology mogelijk moet zijn.
More Moore maakt melding van enkele ‘doorbraken’, waaronder een foto-emissie elektronenmicroscoop, waarmee afmetingen van 20 nm kunnen worden gemeten, zonder het meetobject te beschadiigen. Ook signaleert men grote vooruitgang in het vermogen van de EUVL-lichtbron: van 120 watt naar 800 watt.
Martin van den Brink, executive vice-president marketing & technology van ASML feliciteerde de deelnemers aan het project met de resultaten die in 36 maanden zijn behaald. ASML treedt op als projectleider.
"Het opmerkelijke van dit project – naast de overduidelijke technische verdiensten – is dat het Europese EUVL-bedrijven helpt bij het verwerven van een leidende rol in deze significante technologie in opkomst. De deelnemers aan More Moore hebben ook gedemonstreerd dat pan-Europese onderzoeksprojecten tot innovatie kunnen leiden", aldus Van den Brink.
De Commissie heeft voor More Moore € 23.250.000 beschikbaar gesteld voor een periode van 36 maanden, tot eind 2006.
EUVL is de volgende generatie in technologieën voor de productie van halfgeleiders met weer fijnere structuren. Kleinere afmetingen – vanaf 32 nm in plaats van de nu gangbare 65 nm – maken het opnieuw mogelijk om meer transistoren op een chip onder te brengen of om complexere chips te produceren.
Deelnemers aan More Moore: ASML, Phystex, Zeiss, AMTC, Philips EUV, Xtreme Technologies, Focus, SIgma-C, AZ Electronic Materials, Schott Lithohec, Philips, Xenocs, Sagem Défense Sécurité, Imagine Optic, EPRA en Media Lario. Tot de academische instituten en researchinstituten die deelnemen aan More Moore behoren IMEC, CEA Leti, CNRS, TNO, FOM Rijnhuizen, Fraunhofer Institute, ISAN en RAS (Russisiche wetenchappelijke instituten), Enea, Elettra en de universiteiten van Bielefeld, Mainz, Delft en Birmingham.