14 mrt. 2006
0 minuten
De serie UM-V7 vacuüm uitvoeringen van de standaard Tecnotion niet-magnetische lineaire motoren is onlangs ingebouwd in een prototype waferinspectiemachine. De resultaten zijn volgens de fabrikant veelbelovend. Door een nieuw motorontwerp toe te passen is de hoge nauwkeurigheid ook onder vacuüm omstandigheden behouden gebleven. Het toepassen van roestvaststaal en het vermijden van kunststof in het motorhuis heeft geresulteerd in een oplossing voor het ontgassingsprobleem. De koeling van de UM-V motoren is gerealiseerd door een geavanceerd stralingsabsorptiesysteem; dit in tegenstelling tot de normaal toegepaste conventionele nikkelcoating. Het absorptiesysteem verzorgt zowel de motor- als elektronicakoeling.