Druktransmitters voor in de semicon

De druktransmitters van de 23SY-UHP-serie van KELLER Pressure zijn ontworpen voor toepassingen in ultrazuivere omgevingen in de halfgeleiderproductie.

De geïsoleerde en ingekapselde piëzoresistieve druksensorchip is ondergebracht in een volledig gelast en elektrolytisch gepolijst ontwerp, dat is vervaardigd volgens de geldenden SEMI-normen. Dit ontwerp bevat geen interne afdichtingen en minimaliseert het risico op verontreiniging. De robuuste roestvrijstalen constructie zorgt voor een uitstekende langetermijnstabiliteit en betrouwbare prestaties in veeleisende gasvoorzieningssystemen.

Deze sensoren met extra elektronica, die afwijkingen van de drukopnemer compenseren en de meetresultaten als gestandaardiseerde signalen uitvoeren, hebben de volgende specificaties:

• Drukbereiken: 0…2,5 tot 0…250 bar; 0…30 tot 0…3000 psi.
• Nauwkeurigheid: ±0,25% FS.
• Totale foutband: ± 0,7% FS bij -10…80 °C.
• Interfaces: 4…20 mA, 0…10 VDC.
• Werktemperatuurbereik: -40…125 °C.